ASML交付首台YieldStar 385系統 可滿足3納米制程要求
據新浪財經1月20日消息，荷蘭半導體設備公司阿斯麥（ASML）當天表示，該公司在2020年第四季度向客戶交付了第一台YieldStar 385系統，該系統可以提高量測速度與準確度並且滿足3納米制程的要求。
與以前的系統相比，YieldStar 385系統主要的增強功能包括更快的工作台和更快的波長切換，可實現高精度的套準測量與使用多個波長的設備匹配。
此外ASML還表示，2020年深紫外光（DUV）光刻機預訂額達到73億歐元並創下歷史新高。
ASML Holding NV(ASML.US)
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